Svokallaður excimer leysir vísar til leysisins sem framleiddur er af spenntum dimerum. Það er kallað excimer vegna þess að það er ekki stöðug sameind. Það er hverful sameind sem var einu sinni mynduð í röð líkamlegra og efnafræðilegra viðbragða sem orsakast af því að leysiblandað gasið varð fyrir ytri orku. Líftími þess er aðeins nokkrir tugir. Nanosecond, excimer leysir er eins konar púls leysir, sem myndar leysir með mismunandi bylgjulengdum vegna þess að resonant hola er fyllt með mismunandi blöndur af sjaldgæfum lofttegundum og halógen lofttegundum. Bylgjulengdarsviðið er 157-353nm.
Vinnugasið sem notað er í ljósbrotsaðgerð á glæru er ArF, sem framleiðir 193nm excimer leysir, sem er útfjólublá ljósbylgja. Þegar hver leysigeisli lendir á vefnum getur hann gufað upp vefjasameindirnar, þannig að hann er nákvæmur. Styrkurinn er mjög hár og vegna þess að hann er kaldur leysir framkallar hann ekki varmaáhrif á vefinn við hliðina á geislaða hlutanum. Með þessari nákvæmu uppgufun er hægt að skera lag af hornhimnunni nákvæmlega af, en það hefur ekki áhrif á uppbyggingu hornhimnunnar. Engin skaðleg áhrif.
