Fyrir háþróaða framleiðslu á hálfleiðarabúnaði, hvert eftir ferli, mun yfirborð kísilskúffunnar vera meira og minna til staðar fyrir aðskotaefni, málmleifar eða lífrænar leifar osfrv. tæki uppbyggingu vaxandi flókið hálfleiðara tæki á agna mengun, óhreinindi styrk og fjölda fleiri og fleiri viðkvæm.
Á kísilskúffu grímunni á yfirborði mengunaragna hreinsitækninnar setur fram hærri kröfur, lykilatriðið er að sigrast á mengun öragna og undirlagsins milli mikillar aðsogs, margir hálfleiðaraframleiðendur núverandi hreinsunaraðferða eru sýruþvott, handvirkt þurrka, svo ekki sé minnst á skilvirkni hægfara, en framleiðir einnig efri mengun. Hvers konar hreinsiaðferð er hentugri til að þrífa hálfleiðaravörur? Laserhreinsun er eins og er hentugri sem leið, þegar leysirinn skannar fortíðina, er óhreinindi á yfirborði efnisins fjarlægð, og vegna þess að bilið í óhreinindum er auðvelt að fjarlægja, mun ekki klóra yfirborð efnisins og mun ekki framleiða aukaefni. mengun, er öruggt val.
Þar sem stærð samþætta hringrásarbúnaðarins heldur áfram að minnka, hefur hreinsunarferlið vegna efnistaps og yfirborðsleysis orðið að áhyggjuefni, agnirnar verða fjarlægðar án efnistaps og grafísk skemmdir eru grunnkröfur, leysirhreinsunartækni hefur ekki snertingu, engin hitauppstreymi, mun ekki valda yfirborðsskemmdum á hlutnum sem á að þrífa, og mun ekki valda aukamengun hefðbundinna hreinsunaraðferða er ekki hægt að bera saman við kosti lausnarinnar við það. Það er besta hreinsunaraðferðin til að leysa mengun hálfleiðara tæki.
